[ 密度 ]：0.9±0.1 g/cm³
[ 沸点 ]：165.5±0.0 ℃ at 760 mmHg
[ 熔点 ]：-77 ℃
[ 分子式 ]：C₈H₂₀O₄Si
[ 分子量 ]：208.327
[ 闪点 ]：46.7±0.0 ℃
[ 精确质量 ]：208.113083
[ PSA ]：36.92000
[ LogP ]：5.10
[ 外观性状 ]：无色液体带有一种像酒精的气味
[ 蒸汽密度 ]：7.2 (vs air)
[ 蒸汽压 ]：2.5±0.3 mmHg at 25℃
[ 折射率 ]：1.409
[ 储存条件 ]：
储存注意事项储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过37℃。保持容器密封。应与氧化剂、酸类、碱类分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
[ 稳定性 ]：
1.稳定性 稳定
2.禁配物 强氧化剂、强酸、强碱
3.避免接触的条件 水
4.聚合危害 不聚合
5.分解产物 氧化硅

[ 水溶解性 ]：Hydrolysis
[ 凝固点 ]：-77℃
[ 分子结构 ]：
1、摩尔折射率：54.80
2、摩尔体积（cm³/mol）：221.7
3、等张比容（90.2K）：488.2
4、表面张力（dyne/cm）：23.4
5、极化率（10-24cm³）：21.72

[ 计算化学 ]：
1、氢键供体数量：0
2、氢键受体数量：4
3、可旋转化学键数量：8
4、拓扑分子极性表面积（TPSA）：36.9
5、重原子数量：13
6、表面电荷：0
7、复杂度：91.2
8、同位素原子数量：0
9、确定原子立构中心数量：0
10、不确定原子立构中心数量：0
11、确定化学键立构中心数量：0
12、不确定化学键立构中心数量：0
13、共价键单元数量：1

[ 更多 ]：
1.性状：无色透明液体，稍有气味。
2.熔点（℃）：-77
3.沸点（℃）：165~169
4.相对密度（水=1）：0.93
5.相对蒸气密度（空气=1）：7.22
6.饱和蒸气压（kPa）：0.13（20℃）
7.辛醇/水分配系数：0.04
8.闪点（℃）：43（OC）；37.2（CC）
9.引燃温度（℃）：260
10.爆炸上限（%）：575
11.爆炸下限（%）：0.9
12.溶解性：微溶于水，微溶于苯，溶于乙醚，混溶于乙醇。
13.黏度（mPa· s,20℃）：17.9
14.折射率（20℃）：1.3928

[ 符号 ]：GHS02, GHS07
[ 信号词 ]： Warning
[ 危害声明 ]：H226-H319-H332-H335
[ 警示性声明 ]：P210-P261-P280-P304 + P340 + P312-P337 + P313-P403 + P235
[ 个人防护装备 ]： Eyeshields; Faceshields; full-face respirator (US); Gloves; multi-purpose combination respirator cartridge (US); type ABEK (EN14387) respirator filter
[ 危害码 (欧洲) ]：Xn:Harmful;
[ 风险声明 (欧洲) ]：R10; R20; R36/37
[ 安全声明 (欧洲) ]：S16-S36/37/39
[ 危险品运输编码 ]：UN 1292 3/PG 3
[ WGK德国 ]：1
[ RTECS号 ]：VV9450000
[ 包装等级 ]：III
[ 危险类别 ]：3
[ 海关编码 ]：2920909090

电子级正硅酸四乙酯TEOS 名称 正硅酸四乙酯(TEOS) 化学式 C8H20O4Si 相对分子量 208.33 CAS号 78-10-4 理化性质 无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。 主要用途 主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。 典型应用

第一部分：化学品名称
化学品中文名称：正硅酸乙酯；硅酸四乙酯
化学品英文名称：Ethyl silicate；Tetraethyl orthosilicate
中文俗名或商品名：
Synonyms：
CAS No.：78-10-4
分子式：C₈H₂₀O₄Si
分子量：208.33
第二部分：成分/组成信息
纯化学品混合物
化学品名称：正硅酸乙酯；硅酸四乙酯
有害物成分含量CAS No.
正硅酸乙酯78-10-4

第三部分：危险性概述
危险性类别：第3．3类 高闪点易燃液体
侵入途径：吸入 食入 经皮吸收
健康危害：吸入、摄入或经皮肤吸收对身体有害，对皮肤有刺激作用；其蒸气或烟雾对眼睛、粘膜和呼吸道有刺激作用。接触能引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：
燃爆危险：本品易燃，具刺激性。
第四部分：急救措施
皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。
眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗。
吸入：脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。
食入：误服者给饮大量温水，催吐，就医。
第五部分：消防措施
危险特性：遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧的危险。受热分解放出易燃气体能与空气形成爆炸性混合物。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：一氧化碳、二氧化碳、氧化硅。
灭火方法及灭火剂：二氧化碳、泡沫、干粉、砂土。
消防员的个体防护：
禁止使用的灭火剂：
闪点(℃)：46
自燃温度(℃)：无资料
爆炸下限[%(V/V)]：无资料
爆炸上限[%(V/V)]：无资料
最小点火能(mJ)：
爆燃点：
爆速：
最大燃爆压力(MPa)：
建规火险分级：
第六部分：泄漏应急处理
应急处理：疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，-切断火源。建议应急处理人员戴好防毒面具，穿一般消防防护服。不要直接接触泄漏物，在确保安全情况下堵漏。喷水雾能减少蒸发但不要使水进入储存容器内。用沙土或其它不燃性吸附剂混合吸收，然后收集运至废物处理场所处置。也可以用不燃性分散剂制成的乳液刷洗，经稀释的洗水放入废水系统。如大量泄漏，利用围堤收容，然后收集、转移、回收或无害处理后废弃。
第七部分：操作处置与储存
操作注意事项：密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴防毒面具，戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴橡胶耐油手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、酸类、碱类接触。尤其要注意避免与水接触。充装要控制流速，防止静电积聚。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。
储存注意事项：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与氧化剂、酸类、碱类分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分：接触控制/个体防护
最高容许浓度：中国MAC：未制定标准苏联MAC：未制定标准美国TWA：OSHA 100ppm，850mg／
监测方法：
工程控制：生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：空气中浓度超标时，应该佩带防毒口罩。必要时佩带自给式呼吸器。
眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。
身体防护：穿相应的防护服。
手防护：戴防护手套。
其他防护：工作现场严禁吸烟。工作后，淋浴更衣。注意个人清洁卫生。
第九部分：理化特性
外观与性状：无色液体，稍有气味。
pH：
熔点(℃)：-77
沸点(℃)：165．5
相对密度(水=1)：0．93
相对蒸气密度(空气=1)：7．22
饱和蒸气压(kPa)：0．13／20℃
燃烧热(kJ/mol)：
临界温度(℃)：
临界压力(MPa)：
辛醇/水分配系数的对数值：
闪点(℃)：46
引燃温度(℃)：无资料
爆炸上限%(V/V)：无资料
爆炸下限%(V/V)：无资料
分子式：C₈H₂₀O₄Si
分子量：208.33
蒸发速率：
粘性：
溶解性：微溶于苯，溶于乙醇、乙醚。
主要用途：用作防热涂料、耐化学作用的涂料、有机合成中间体。
第十部分：稳定性和反应活性
稳定性：在常温常压下 稳定
禁配物：强氧化剂、强酸、强碱。
避免接触的条件：接触潮湿空气。
聚合危害：不能出现
分解产物：一氧化碳、二氧化碳、氧化硅。
第十一部分：毒理学资料
急性毒性：LD50：6270mg／kg(大鼠经口)；5878mg／kg(兔经皮) LC50：
急性中毒：
慢性中毒：
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：
第十二部分：生态学资料
生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：
第十三部分：废弃处置
废弃物性质：
废弃处置方法：处置前应参阅国家和地方有关法规。建议用焚烧法处置。
废弃注意事项：
第十四部分：运输信息


危险货物编号：33609
UN编号：1292
包装标志：
包装类别：Ⅲ
包装方法：安瓿瓶外普通木箱；螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或金属桶（罐）外普通木箱。
运输注意事项：储存于阴凉、通风仓间内。远离火种、热源。仓温不宜超过30℃。防止阳光直射。包装要求密封，不可与空气接触。应与氧化剂、食用化工原料分开存放。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型，开关设在仓外。配备相应
RETCS号：
IMDG规则页码：
第十五部分：法规信息
国内化学品安全管理法规：化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第3.3 类高闪点易燃液体。
国际化学品安全管理法规：
第十六部分：其他信息
参考文献：1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989
填表时间：年月日
填表部门：
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